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美、日、德三国分别于68年、70年和71年开发了首套fms。到90年代全拥有1200套左右fms,其中日本拥有400套,美国150套,德国100套。自85年到90年fms的年平均增长率为28.7%。而同期fmc的年平均增长率为72.8%,伺服机械手维修,即fmc的增长率是fms的2.54倍。
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